居建华
,
夏义本
,
张伟丽
,
王林军
,
史伟民
,
黄志明
,
李志锋
,
郑国珍
,
汤定元
功能材料
采用功率密度分别为300、750和1500W/mm2的氩离子激光器,对由射频等离子化学气相沉积(RF-CVD)法制备的掺氮类金刚石薄膜进行了激光退火处理.并用傅立叶红外吸收光谱和显微Raman等手段,对所得样品进行了研究.结果表明:C-N键比C-H键更为稳定,一方面氮原子的引入制约了C-H键的生成,在激光退火中减少了因C-H键分解而引起薄膜的石墨化;另一方面生成的C-N键不易受热分解;因此随着氮含量的增加,薄膜中C-N成分增加,从而提高了类金刚石薄膜的热稳定性.
关键词:
类金刚石薄膜
,
激光退火
,
拉曼光谱
,
热稳定性
居建华
,
夏义本
,
张伟丽
,
王林军
,
史伟民
,
黄志明
,
李志锋
,
郑国珍
,
汤定元
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.010
采用显微拉曼光谱研究了掺氮的类金刚石薄膜,该薄膜分别经过能量密度为300,750和
1500W/mm2氩离子激光的退火处理。分析结果表明氮原子在类金刚石薄膜中形成了C－N键制
约了C－H键的形成。由于C－N键的键能比C－H键的键能大得多，因此在激光退火过程中C－N
键不易分解。所以随着氮含量的增加，类金刚石薄膜的激光退火后石墨化程度明显降低，具有比较
好的热稳定性。而非掺氮的类金刚石薄膜由于C－H键含量比较高，因此激光退火后容易石墨化。
关键词:
类金刚石薄膜
,
激光退火
,
拉曼光谱
,
热稳定性
