仇旭升
,
谢可可
,
孔明光
,
汪壮兵
,
刘炳龙
,
马渊明
,
章伟
,
梁齐
材料导报
在Si衬底上用脉冲激光沉积法生长C轴取向高度一致的ZnO纳米薄膜.实验制备ZnO纳米结构,其颗粒尺寸的控制是关键.通过改变衬底温度(400～700℃)和沉积时间,获得不同的ZnO纳米结构.SEM观察,在600℃时颗粒均匀且间隔明显,且该薄膜结构为不连续膜,这与其他衬底温度下所形成的薄膜结构有很大差异.XRD显示,600～700℃结晶良好.
关键词:
纳米薄膜
,
PLD
,
XRD
谢可可
,
仇旭升
,
孔明光
,
刘炳龙
,
汪壮兵
,
于永强
,
章伟
,
梁齐
材料导报
利用PLD法在Si衬底上成功地制备了具有较好C轴择优取向生长的ZnO薄膜,从样品的XRD谱可以看出在环境氧压为20Pa,衬底温度为700℃时生长的样品的XPD谱(002)峰半高宽较窄,膜的结晶程度最好.不同的衬底温度下膜的生长机制也不一样,主要有:V-L-S机制和V-S机制.样品室温下的PL谱显示所有样品均出现UV发射和可见光区蓝绿光发射,而蓝绿光发射强度随氧压的增大而增强,表明样品的蓝绿光发射来源于样品中的受主缺陷.
关键词:
ZnO薄膜
,
PLD
,
XRD
,
PL谱
饶晓俊
,
梁齐
,
梁金
,
安宁宁
,
汪壮兵
材料导报
综述了脉冲激光沉积法制备ZnO纳米棒的研究进展.介绍了不同制备参数条件下ZnO纳米棒的形貌特征、性质及其生长机理,阐述了利用脉冲激光沉积制备高质量ZnO纳米棒及阵列的条件,为ZnO纳米棒的制备及性质的深入研究提供了有益的参考.
关键词:
ZnO
,
纳米棒
,
脉冲激光沉积
