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直接敷铜工艺制备Cu/AlN材料的界面结构及结合性能

谢建军 , 王宇 , 汪暾 , 王亚黎 , 丁毛毛 , 李德善 , 翟甜蕾 , 林德宝 , 章蕾 , 吴志豪 , 施鹰

机械工程材料 doi:10.11973/jxgccl201701013

通过直接敷铜(DBC)工艺,在AlN陶瓷基板表面于1000~1060℃的敷接温度下制备Cu/AlN材料,利用机械剥离机、场发射扫描电子显微镜和X射线衍射仪分析了Cu/AlN的界面结合强度、界面微观形貌和物相组成.结果表明:铜箔和AlN陶瓷基板间的结合强度超过了8.00 N?mm-1,铜箔和AlN陶瓷之间存在厚度约为2μm的过渡层,过渡层中主要含有 Al2 O3、CuAlO2和Cu2 O 化合物;随着敷接温度升高,Cu/AlN的界面结合强度逐渐增大.

关键词: 表面金属化 , 直接敷铜工艺 , AlN陶瓷 , 界面结合强度

超细AlN粉体合成与陶瓷制备研究

王宇 , 谢建军 , 汪暾 , 丁毛毛 , 章蕾 , 雷芳 , 施鹰

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.04.024

采用湿化学法,将异丙醇铝盐与有机碳源蔗糖混合,在一定温度及pH值下制成干凝胶,然后在高温下将干凝胶中的铝盐与碳源进行化学分解,并通过碳热还原发生氮化反应,制得中位粒径约为1.0μm,含氧量低、无杂相的超细AlN粉体.最后,通过添加CaF2-Y2O3二元烧结助剂,利用无压烧结技术成功制得相对密度超过99.0%,热导率>180 W/(m·℃)的AlN陶瓷.

关键词: 氮化铝 , 湿化学法 , 醇盐水解 , 碳热还原 , CaF2-Y2O3烧结助剂

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