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溅射电压和铝掺杂对透明导电氧化锌薄膜性能的影响

施昌勇 , 沈克明

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.02.018

研究了用微波ECR等离子体反应溅射制备透明导电氧化锌薄膜工艺中靶压及铝的掺入对薄膜电阻率和透光率的影响, 制得电阻率为10-5 Ω.m数量级, 可见光平均透光率大于80%的透明导电ZnO∶Al (AZO) 膜.

关键词: 透明导电膜 , ZnO∶Al , ECR微波等离子体反应溅射