望咏林
,
颜悦
,
沈玫
,
贺会权
,
张官理
材料导报
综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的应用和发展,重点阐述了TCO薄膜的透明导电机理以及制备工艺的最新研究进展,同时对其研究和应用前景进行了展望.
关键词:
氧化物薄膜
,
透明导电机理
,
制备工艺
,
ITO
,
AZO
沈玫
,
纪建超
,
贺会权
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.z1.005
通过探讨半导体氧化物ITO膜的透光和导电机理,用反应性直流磁控溅射的镀膜工艺,在有机玻璃上低温镀制(ITO)膜,研究ITO膜溅射工艺参数与透光和导电性能的关系,实现了在低温下镀制(ITO)膜的技术,其透光率≥80%以上,表面电阻≤30Ω/□.
关键词:
透明导电膜
,
ITO膜
,
磁控溅射
