葛玉建
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江锦春
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邬云骅
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潘健亮
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王善力
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褚君浩
人工晶体学报
采用双靶位共溅射方法制备出组分可控的Cd1-xZnxTe薄膜样品,组分偏离小于0.13.采用XRD对不同生长温度制备的样品进行了结晶性分析,研究了薄膜结晶与生长温度的关系.采用AFM、SEM对样品进行了表面和界面分析,表明薄膜表面平整,界面清晰.对不同组分的Cd1-xZnxTe样品进行了透射光谱测量,得到了光学性质随组分的变化规律,并拟合得出了这些样品的带隙和组分.
关键词:
Cd1-xZnxTe薄膜
,
磁控溅射
,
透射光谱
