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铽掺杂纳米晶GaN薄膜的室温可见发光

王涛 , 潘孝军 , 张振兴 , 李晖 , 谢二庆

中国稀土学报

利用直流磁控反应式共溅射方法制备了GaN:Tb薄膜. XRD结果显示,该薄膜为纳米晶结构,根据Scherrer公式,计算得到了GaN薄膜晶粒的平均大小为4.8 nm; 紫外可见谱表明在可见光区薄膜的平均透过率大于75%,同时利用Tauc公式计算得到了薄膜的光学带隙为3.07 eV; 测量了薄膜的室温光致发光谱,获得了Tb3+在可见光区(位于497.0,552.4,594.2以及627.8 nm)的本征发光.

关键词: 反应溅射 , nc-GaN薄膜 , Tb掺杂 , 光致发光 , 稀土

溅射制备非晶氮化镓薄膜的光学性能

潘孝军 , 张振兴 , 贾璐 , 李晖 , 谢二庆

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00725

利用直流磁控溅射方法制备了GaN薄膜. X射线衍射及Raman光谱结果表明薄膜样品为非晶结构; 傅立叶红外光谱表明薄膜样品的主要吸收峰为Ga--N键的伸缩振动; 光致发光测试得到了360nm处的紫外发光谱; 测量薄膜样品的紫外-可
见谱, 并利用Tauc公式计算得到样品的光学带隙为3.74eV, 这与光致发光谱得到的结果是一致的.

关键词: 非晶氮化镓 , DC sputtering , optical properties

溶胶-凝胶法制备K-N共掺ZnO 薄膜的结构及光学特性

张振兴 , 张海军 , 廖梦舟 , 周华 , 谢二庆 , 潘孝军

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.22.020

采用溶胶-凝胶法在 Si(100)衬底上生长了K与N共掺的ZnO 薄膜，并用 X射线衍射仪、扫描电子显微镜、荧光分光光度计、紫外-可见分光光度计对ZnO 薄膜样品的结构和光学特性进行了研究。结果表明，溶胶-凝胶法制备的 ZnO 薄膜为六方纤锌矿结构。随着K掺杂浓度的增大，薄膜的结晶性变好，组成薄膜的颗粒变大，并表现出c 轴择优生长特性，同时掺杂导致的氧空位缺陷也在增加，使得绿光发射增强，薄膜的光学带隙先增后减。

关键词: ZnO 薄膜 , K-N 共掺杂 , 光学带隙 , 光致发光谱 , 溶胶-凝胶法

溅射制备非晶氮化镓薄膜的光学性能

潘孝军 , 张振兴 , 贾璐 , 李晖 , 谢二庆

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324x.2007.04.031

利用直流磁控溅射方法制备了GaN薄膜.X射线衍射及Raman光谱结果表明薄膜样品为非晶结构;傅立叶红外光谱表明薄膜样品的主要吸收峰为Ga-N键的伸缩振动;光致发光测试得到了360nm处的紫外发光谱;测量薄膜样品的紫外-可见谱,并利用Tauc公式计算得到样品的光学带隙为3.74eV,这与光致发光谱得到的结果是一致的.

关键词: 非晶氮化镓 , 溅射制备 , 光学性能

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