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熔盐电解提纯多晶硅的研究进展

有色金属工程 doi:10.3969/j.issn.2095-1744.2011.03.011

介绍熔盐电解技术在多晶硅提纯中的研究进展,根据工艺的条件、流程和原理的不同,熔盐电解提纯硅技术为常规阴极电沉积硅技术和固态阴极熔盐电脱氧制备硅技术.综述这两类技术的国内外研究现状,总结各工艺的特点,分析存在的问题,展望应用前景.

电化学噪声研究HSn701B铜合金在含NaCl循环水中的腐蚀

采用电化学噪声方法研究了火力发电厂凝汽器HSn701B铜管在不同浓度NaCl循环水中的腐蚀行为,采用快速傅里叶变换(FFT)、快速小波变换(FWT)和散粒噪声理论结合统计方法分析原位电化学电位噪声.结果表明,铜管在循环水中的腐蚀主要表现为局部腐蚀,高浓度的Cl-能够促进腐蚀的发生.电化学噪声是一种能有效监控铜合金在循环水中腐蚀过程的方法.

关键词: 电化学噪声 , 腐蚀行为 , 铜合金 , 时频域分析

栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究

付盛荣 , 熊斌 , 车录锋 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.012

主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响.在0.01-200o/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01o/s的输入角速度变化.考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10o/s时,整个系统即无法分辨0.01o/s的输入角速度变化.针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题.

关键词: 陀螺 , 电容式 , 检测 , 分辨率

带温度补偿结构的高灵敏度光读出红外成像阵列器件设计

李珂 , 冯飞 , 熊斌 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.008

本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响.理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此外,ANSYS模拟仿真的结果验证了该设计能抑制周围环境温度波动对器件红外目标探测的影响.

关键词: 光读出红外成像阵列器件 , 热-机械灵敏度 , 噪声等效温差 , 温度补偿

振动式微机械陀螺的电学模拟

黄小振 , 熊斌 , 车录锋 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.014

根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型,并利用电路模拟工具对其进行了模拟.利用电路模拟结果,分析了陀螺的运动特性.利用这个电学模型,可以与接口电路混合模拟,优化检测电路的设计.

关键词: 微机械陀螺 , 等效电学模型 , 模拟

SiO2/Si上直流磁控反应溅射制备AIN薄膜

范克彬 , 沈伟东 , 王立春 , 熊斌

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.01.012

利用正交设计分析了直流磁控溅射中溅射气压,衬底温度和N2浓度对SiO2/Si衬底上制备的AIN薄膜的(002)择优取向的影响水平.利用X-射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的晶向和表面形貌进行了分析,得到制备高度择优取向的A1N薄膜的最佳期望条件:衬底温度为250C,溅射气压为2Pa,N2浓度为75%;并得出了氮气浓度对薄膜的(002)择优取向的影响较大.具有择优取向的AIN薄膜的折射率约为2.06.

关键词: 氮化铝薄膜 , 正交设计 , 溅射参数 , 择优取向