牛新平
,
王昕
,
马胜利
,
徐可为
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刘维民
稀有金属材料与工程
用全封闭非平衡磁控溅射技术制备Graphit-ic和Dymon-ic薄膜.利用SEM,AFM,TEM,XRD,纳米压痕仪,高温摩擦磨损试验机等研究了薄膜的微观结构、表面形貌、显微硬度以及摩擦磨损性能.结果表明:Graphit-ic薄膜和Dymon-ic薄膜均由非晶组织构成,薄膜均匀、致密,粗糙度小;Graphit-ic薄膜的显微硬度低于Dymon-ic薄膜;同时,在干摩擦条件下,Graphit-ic薄膜和Dymon-ic薄膜与GCrl5钢球对磨时显示出良好的耐磨减摩性能,Graphit-ic薄膜的摩擦系数低于Dymon-ic薄膜,但其比磨损率却高于Dymon-ic薄膜.
关键词:
Graphit-ic薄膜
,
Dymon-ic薄膜
,
显微硬度
,
耐磨减摩
,
摩擦系数
,
比磨损率
马胜利
,
马青松
,
牛新平
,
徐可为
,
中国有色金属学报
研究了射频等离子体辅助化学气相沉积获得的Ti-B-N薄膜的微观组织结构和力学性能.结果表明:B的加入使Ti-B-N薄膜中出现TiN纳米晶、BN非晶和TiB2非晶(nc-TiN/a-BN/a-TiB2)的复相结构.Ti-B-N薄膜组织致密,晶粒细小,薄膜硬度显著提高.用球盘式磨损实验考察了薄膜的摩擦学特性.与TiN相比,Ti-B-N薄膜抗磨损性能有显著提高,磨损机制为微观切削与疲劳磨损共同作用,但摩擦系数较TiN稍高.
关键词:
射频等离子体辅助化学气相沿积
,
Ti-B-N薄膜
,
硬度
,
耐磨性
牛新平
,
马大衍
,
马胜利
,
徐可为
稀有金属材料与工程
用工业型脉冲直流等离子体增强化学气相沉积技术,在高速钢(W18Cr4V)表面沉积了Ti-Si-N复合薄膜,研究了Ti-Si-N复合薄膜的微观组织和力学性能.结果显示,薄膜相结构为纳米晶TiN和纳米晶或非晶TiSi2以及非晶相Si3N4;在Si含量为5.0 at%～28.0 at%范围内,薄膜的晶粒尺寸逐渐变大;Ti-Si-N薄膜的显微硬度相对于TiN有明显增加,最高硬度可达40 GPa;高温退火后,Ti-Si-N纳米复合薄膜的显微硬度与晶粒尺寸在800℃高温下仍然保持稳定.
关键词:
Ti-Si-N
,
纳米复合薄膜
,
晶粒尺寸
,
显微硬度
牛新平
,
王昕
,
马胜利
,
徐可为
,
刘维民
稀有金属材料与工程
采用磁控溅射方法在1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上沉积Ti-Si-N纳米薄膜.结果发现:随着Si含量增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐变小,晶粒尺寸范围在3 nm～20 nm之间.薄膜的显微硬度相对于TiN有明显增加,最大硬度可达43.5GPa.Si元素的加入亦改善了膜基结合强度.同时发现,Ti-Si-N纳米薄膜的摩擦系数和比磨损率随着Si含量的增加先减小后增加,其高温摩擦系数明显低于常温,但比磨损率却有显著提高.
关键词:
Ti-Si-N纳米薄膜
,
显微硬度
,
结合强度
,
摩擦系数
