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感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶异常变性的改善

徐纯洁 , 张福刚 , 崔立加 , 张雪峰 , 徐浩 , 刘日久 , 李根范 , 王世凯 , 郑载润

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173204.0265

通过不同感应耦合等离子体刻蚀条件下进行的玻璃基板发生光刻胶变性的位置,研究光刻胶变性与下部电极结构的相关性.研究结果表明:下部电极的Dam区对玻璃基板的冷却效果较差,导致该区域的玻璃基板上光刻胶容易产生变性.经过对下部电极Dam区的改造可以有效增大玻璃基板的冷却范围,改善光刻胶变性残留问题.

关键词: 感应耦合等离子体 , 干法刻蚀 , 下部电极 , 光刻胶 , 湿法去胶

Al3+/Yb3+/p5+掺杂对石英玻璃紫外透过和紫外激发荧光的影响

邵冲云 , 许文彬 , 刘力挽 , 杨秋红 , 胡丽丽 , 周秦岭 , 王世凯

无机材料学报 doi:10.15541/jim20150200

采用溶胶-凝胶法结合高温真空烧结工艺制备了不同浓度的Al3+/Yb3+/p5+掺杂石英玻璃.研究了p5+和Al3+的引入对Yb3+掺杂石英玻璃紫外透过和紫外激发荧光光谱,以及Yb4d电子结合能的影响,并初步探索了其机理.研究结果表明,Al3+/Yb3+/p5+掺杂石英玻璃在190~300 nm波段的吸收主要来源于O2-→Yb3+的电荷迁移吸收,其谱带位置和Yb4d电子结合能随Yb3+的第二配位元素(Al、Si、P)电负性增大向高能方向移动.真空烧结条件下,引入Al3+会引发石英玻璃中Yb3+还原为Yb2+,其典型的吸收峰位于330 nm处;然而,在Al3+/Yb3+共掺的基础上再引入P5+,且P5+/Al3+摩尔比大于1时,可以有效抑制Yb2+的形成.紫外光激发引起的近红外发光(976 nm)是电子从电荷迁移态弛豫到Yb3+激发态向基态跃迁的结果,可见发光(525 nm)归因于Yb2+的5d→4f跃迁.本文研究结果对通过优化工艺和调整组分制备出高性能的Yb3+掺杂光纤具有一定的指导意义.

关键词: Yb3+掺杂石英玻璃 , 紫外吸收带 , 电荷迁移 , Yb2+

溶胶凝胶法制备掺氟石英玻璃的研究进展

许文彬 , 于春雷 , 王世凯 , 楼风光 , 王孟 , 胡丽丽

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.15.006

掺氟石英玻璃能够有效降低玻璃的折射率而不引起损耗的增加,使得其在光纤行业具有广阔的应用前景.溶胶凝胶法是制备掺氟石英玻璃的重要手段之一,具有重要的研究价值.介绍了掺氟石英光纤的应用以及溶胶凝胶法制备掺氟石英玻璃的研究进展、制备工艺、影响因素,并提出存在的问题及改进的方向.

关键词: , 石英玻璃 , 溶胶凝胶法

超声喷雾热解法制备半导体薄膜技术

王世凯 , 姜妍彦 , 唐乃岭 , 李焕勇 , 胡志强

材料导报

超声喷雾热解法(USP)作为一种新兴的薄膜制备技术,已制备出多种半导体薄膜材料,并成功应用于太阳能电池、传感器、固态氧化物燃料电池等领域.介绍了USP制备薄膜技术的原理,结合近年来USP技术在半导体薄膜制备领域的研究进展,系统阐述了超声喷雾热解法制备薄膜的原理、工艺过程及在此过程中发生的物理化学变化,详细分析了前驱体溶液化学组成、沉积温度、退火处理等各个工艺参数对薄膜沉积过程和成膜质量的影响,指出了该技术目前存在的问题及今后的发展方向.

关键词: 薄膜 , 超声喷雾热解 , 沉积

溶胶-凝胶法制备Al3+、Yb3+掺杂石英光纤纤芯的研究

楼风光 , 王世凯 , 王孟 , 冯素雅 , 于春雷 , 胡丽丽

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2014.13343

以正硅酸乙酯、氯化铝和氯化镱为前驱体,用溶胶-凝胶法制备了Al3+、Yb3+掺杂石英光纤纤芯.采用ICP-AES分析发现:碱催化的掺杂硅凝胶上下层组分存在较大差异,酸催化条件能够消除组分差异.将酸催化溶胶经凝胶化、热处理、玻璃化、光学加工,获得了φ2.5 mm×50 mm的芯棒.测试2 mm厚芯棒玻璃的光谱和荧光寿命,1020 nm的荧光寿命为896 μs,羟基含量为0.4×10-6,并通过显微拉曼光谱分析玻璃结构.采用管棒法制备预制棒,2000℃高温拉制了Al3+、Yb3+掺杂单包层石英光纤.用光纤折射率分布测试仪测得纤芯折射率波动△n小于2×10-4,表明纤芯具有良好的光学均匀性.本研究结果提供了一种大模场掺镱石英光纤纤芯材料的制备方法,并为溶胶-凝胶法制备均匀多组分材料的研究提供了理论参考.

关键词: 溶胶-凝胶法 , SiO2粉体 , 均匀性 , Yb3+,Al3+掺杂石英玻璃纤芯 , Yb3+光谱性质

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