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用真空双源蒸镀法在Ｓｉ单晶衬底上制备了Ｆｅ，Ｄｙ原子数比为３：２的Ｆｅ─Ｄｙ成分调制多层膜．用ＡＥＳ、ＲＢＳ、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）以及磁性测量分析了Ａｒ~（＋）混合前后Ｆｅ─Ｄｙ多层膜的相交．Ａｒ~（＋）离子注入能量１１０ｋｅＶ，剂量５×１０~（１５）─１×１０~（１７）／ｃｍ~２．结果表明，注入剂量为１×１０~（１７）／ｃｍ~２时，Ｆｅ，Ｄｙ完全混合，并且由晶态的Ｆｅ，Ｄｙ完全转变为Ｆｅ_（６０）Ｄｙ_（４０）（近似于该化学配比）的非晶态合金，随Ａｒ~（＋）注入量的增加，Ｆｅ一Ｄｙ多层膜的Ｍ_ｓ下降，在剂量５０×１０~（１５）／ｃｍ~２时下降幅度最大。

关键词: Ｆｅ─Ｄｙ多层膜 , amorpohization , magnetic property. , null

Mo/SiO_2软X射线多层膜反射镜的界面分析

王凤平 , 王佩璇 , 方正知 , 崔明启 , 姜晓明 , 马宏骥

金属学报

用X射线衍射的动力学理论对磁控溅射法制备的Mo／SiO2多层膜低角X射线衍射谱进行拟合，定量分析了膜层的周期结构和界面粗糙度．同时，用Auger电子能谱证实了多层膜成分的周期性以及比较明晰的层界面随样品厚度的增加，界面粗糙度增加．

关键词: Mo／SiO_2多层膜 , magnetron sputtering , interfacial roughness , low angle X-ray diffraction , AES

注入氦不锈钢中氦泡热形核及长大研究

张镭 , 王佩璇 , 陶蓉 , 马如璋 , 张国光

金属学报

本文利用透射电镜观察了HR-2及SS321不锈钢注入He~+并在T<1023K不同温度退火后的He泡结构,发现T=0.45T_m是一个转变点,当0.3T_m0.45T_m时,He泡主要通过迁移和合并而长大,长大激活能的实验值分别为0.41eV和0.31eV,实验结果表明,HR-2钢中He泡数密度在整个测量温区内均大于SS321钢,并且材料迅速肿胀的开始温度也高于SS321钢,说明HR-2钢比SS321钢具有较好的抗氦性能

关键词: 不锈钢 , ion implantation , He bubble

不锈钢表面沉积SiC作为氢渗透阻挡层的研究

王佩璇 , 王宇 , 史宝贵

金属学报

在３１６Ｌ不锈钢片表面上用离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）和溅射沉积加上离子注入方法制备Ｓｉ－Ｃ薄膜, 测量氚通过钢片的渗透率, 并用ＸＰＳ, ＡＥＳ, ＸＲＤ及ＴＥＭ等分析薄膜的成分和结构, 结果表明, 改性膜使不锈钢的氚渗透降低近５个数量级, 随着制备条件的汪同, 膜中的Ｃ／Ｓｉ原子比不同, 用双靶（Ｓｉ, Ｃ）加Ｃ离子轰击的ＩＢＡＤ方法可得到的较高的Ｃ／Ｓｉ比.

关键词: 碳化硅 , null , null , null , null , null