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王吉翠 , 邓乾发 , 周兆忠 , 李振 , 袁巨龙
表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.05.028
以SiO2为磨料,同时将MgF2微粉作为固相反应催化剂加入到SiO2磨料中,利用蓝宝石和SiO2之间的固相反应,通过去除生成的软质反应层的方法,对蓝宝石晶片进行机械化学研磨抛光,在获得良好的表面加工质量的同时,提高蓝宝石晶片加工效率.
关键词: 蓝宝石晶片 , 固相反应 , SiO2 , 催化剂 , MgF2
