王必本
,
张兵
,
郑坤
,
郝伟
,
王国菊
,
王波
,
朱满康
,
严辉
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.022
利用等离子体增强化学气相沉积系统,用CH4、NH3和H2为反应气体,在沉积有100nm厚Ta过渡层和60nm厚NiFe催化剂层的Si衬底上制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构.结果表明当氨气浓度为20%、40%和60%时,碳纳米管的平均长度分别为3.88μm、4.52μm和6.79μm,而其平均直径变化不大,均在240nm左右.最后,分析讨论了氨气浓度对碳纳米管生长和结构的影响.
关键词:
碳纳米管
,
氨气浓度
,
生长速率
王国菊
,
王必本
,
朱满康
,
郑坤
材料导报
用热丝化学气相沉积制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜和透射电子显微镜研究了它们的结构.结果表明,用CH4和H2为反应气体制备的碳纳米管是弯曲和中空的,它们的直径较大,生长速率较低;在反应气体中加入N2气后,碳纳米管的平均直径减小,生长速率增大,它们是准直的和竹节型的.分析和讨论了N2对碳纳米管生长和结构的影响.
关键词:
HFCVD
,
碳纳米管
,
定向生长
王国菊
,
王必本
,
王波
,
郑坤
,
朱满康
,
严辉
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.020
用CH4、H2或包含NH3的混合气体为反应气体,利用负偏压增强热丝化学气相沉积方法在沉积有过渡层(Ta或Ti)和催化剂层(NiFe)的Si衬底上制备碳纤维,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构,结果发现不同的沉积条件对碳纤维的生长和结构有很大的影响.在无辉光放电的条件下,衬底温度较低时碳纳米管或纤维生长困难;提高衬底温度,能够弯曲生长;在辉光放电的条件下,则呈现定向生长的特点.
关键词:
碳纤维
,
辉光放电
,
负偏压
,
CVD
