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Co/C与Co-Pt/C膜的微结构研究

孙智勇 , 赵志明 , 王宝纯 , 姜宏伟 , 王艾玲 , 郑鹉

金属功能材料

利用磁控溅射方法制备Co/C和Co-Pt/C薄膜.用X射线衍射谱(XRD)和透射电子显微镜(TEM)测量样品结构和微观形貌.对Co/C和Co-Pt/C晶粒的大小进行计算,表明Co/C颗粒膜Co是以团簇的形式镶嵌在C层中的,面心立方(fcc)COPt3和面心四方(fct)Copt两个稳定有序相在Co-Pt/C薄膜中很好地藕合.

关键词: 磁记录 , 磁控溅射 , 薄膜