王宽
,
刘敬成
,
刘仁
,
穆启道
,
郑祥飞
,
纪昌炜
,
刘晓亚
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.02.123
随着微电子工业的蓬勃发展,光刻技术向着更高分辨率的方向迈进,运用底部抗反射涂层有效消除光刻技术中的驻波效应、凹缺效应,提高关键尺寸均一性和图案分辨率,引起了广大研究者的关注.本文简要介绍了光刻胶和光刻技术,底部抗反射涂层的分类、基本原理、刻蚀工艺以及其发展状况.重点对底部抗反射涂层的最新研究进展进行了总结,尤其是碱溶型底部抗反射涂层在光刻胶中的应用研究,最后对底部抗反射涂层的发展前景和方向进行了展望.
关键词:
光刻胶
,
光刻技术
,
底部抗反射涂层
王宽
,
朱海平
,
宋振莉
,
陶勃然
,
王莹
,
何维均
,
栾佰峰
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.04.005
钛及钛合金具有良好的耐腐蚀性,被广泛应用于各种化学反应容器制造、热交换器材料等防腐蚀领域,但其应用范围因成本过高而受到限制.钛钢复合板同时兼具钛的耐蚀性和钢的强韧性,又具有良好的性价比,拥有广泛的工程应用前景,成为近年来的研究热点.对国内外近十几年来关于钛钢复合板的研究情况进行综合评述,概括了钛钢复合板的典型制备方法,重点讨论了界面组织特征和界面结合机理,以及热处理温度对界面特征和结舍强度的影响规律.最后结合相关文献的分析以及实际工程的需求,指出了钛钢复合板未来的研究方向和发展前景.
关键词:
钛钢复合板
,
界面特征
,
结合机理
王宽
,
周恺
,
李波
,
孙宝莲
,
郑伟
,
梁清华
冶金分析
doi:10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.009911
测定锆合金中氧和氮的方法多为单独测定，操作繁琐，故实验提出了锆合金中氧和氮同时测定的方法。称取0.06g锆合金样品，放入镍篮，投入脱气后的石墨套坩埚中，控制分析功率为5.0kW，氧和氮积分时间分别为40s和60s，以锆合金标样AR640建立校准曲线，实现了惰气熔融-红外／热导法对锆合金中氧和氮含量的同时测定。氧和氮的方法测定下限分别为0.0007％和0.0002％。采用实验方法对2个锆合金实际样品中氧和氮进行测定，氧和氮测定结果的相对标准偏差（RSD，n＝11）分别为1.5％～4.4％和7.6％～8.6％。按照实验方法测定锆合金标样BCR-276中氧和氮，测定结果与认定值基本一致。
关键词:
惰气熔融
,
红外/热导法
,
锆合金
,
氧
,
氮
