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低应力Ni-W/Ni叠层微模具的制备与特性

汪红 , 姚锦元 , 戴旭涵 , 王志民 , 朱军 , 赵小林

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2007.08.002

采用UV-LIGA技术和Ni-W/Ni叠层电镀方法,在微喷嘴模具上制备出低应力Ni-W沉积层.研究了热处理条件对低应力Ni-W电沉积层硬度的影响.考察了沉积态及热处理态的Ni-W层、Ni层的耐磨性.结果发现,热处理后Ni-W/Ni叠层微模具界面结合良好,在干摩擦条件下,经过热处理的Ni-W层的耐磨性是Ni层的6倍;在550 ℃、2 h真空热处理条件下,Ni-W电沉积层应力最低,为230MPa,硬度大于950HV.

关键词: 微模具 , 喷嘴 , 电沉积 , Ni-W合金 , UV-LIGA(紫外-光刻、电铸、复写技术) , 低应力 , 耐磨性

高氯油田水溶液中咪唑类缓蚀剂的性能

左秀丽 , 舒建华 , 王志民 , 何天稀

腐蚀与防护

采用失重试验和电化学方法研究了苯并咪唑及6-硝基苯并咪唑两种缓蚀剂在含氯油田水溶液中对Q235钢的缓蚀作用,并探讨其缓蚀机理,研究了两种缓蚀剂添加量对缓蚀效率的影响.结果表明,苯并咪唑及6-硝基苯并咪唑缓蚀剂都具对Q235钢有明显的缓蚀作用,苯并咪唑缓蚀率随着浓度增大呈现增大趋势,浓度为1.0 g/L时缓蚀效果最好,缓蚀率达90.41%;6-硝基苯并咪唑的缓蚀率随着浓度的增大具有极值效应,当浓度为0.5 g/L时,最大缓蚀率为84.78%.极化曲线和电化学阻抗谱试验结果与失重法的结果一致,都表明在油田水溶液中苯并咪唑的缓蚀率较6-硝基苯并咪唑高.苯并咪唑的缓蚀效果较6-硝基苯并咪唑更好,且两种缓蚀剂在Q235钢表面的吸附都为自发过程,符合Langmuir吸附等温式.

关键词: 苯并咪唑 , 6-硝基苯并咪唑 , Q235钢 , 缓蚀剂

MEMS微器件用CoNiMnP永磁体薄膜的工艺制备和性能研究

汪红 , 丁桂甫 , 戴旭涵 , 苏宇锋 , 张永华 , 王志民

功能材料

研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用.对薄膜组成、磁性能的对比研究表明:从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co82.4Ni11.9Mn0.4P5.3永磁体薄膜具有最好的磁性能:Hc=208790A/m,Br=0.2T,(BH)max=10.15kJ/m3,且脆性小、内应力较低.进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的Co(110)面上存在织构所致.在此基础上采用掩膜电沉积技术成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列.

关键词: MEMS器件 , CoNiMnP永磁体薄膜 , 磁性能 , 掩膜电沉积

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