郭嘉
,
龚明
,
许小亮
,
张慰萍
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郭海
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王燎原
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陈滢滢
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刘佩尧
,
刘洪图
功能材料
用正硅酸乙酯(ETOS),乙醇(EtOH),水以及盐酸以一定的比例混合配制溶胶(其中盐酸为催化剂).以普通浮法玻璃为衬底,用浸渍提拉法制备了厚度为100nm左右的SiO2薄膜.对其进行等温和等时退火,用台阶仪测定其厚度变化,给出经验拟合公式.研究了退火对透过率、折射率以及气孔率的影响,并做出比较详细的理论解释.
关键词:
退火
,
sol-gel
,
SiO2薄膜
,
膜厚
,
折射率
许小亮
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王燎原
,
王烨
,
杨智超
,
施朝淑
功能材料
用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上生长了一组Zn1-xMgxO(x=0～0.16)薄膜.并在不同温度下退火.对薄膜的光致发光研究表明,在薄膜的发射谱的紫外区域有分别对应自由激子(以及相应的声子伴线)和电子-空穴等离子体的发光机制,其中后者有5倍超线性的受激发射,其受激发射阈值与薄膜的退火温度相关,样品中最低受激阈值为40kW/cm2.
关键词:
ZnMgO
,
光致发光
,
受激发射阈值
