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溅射功率和氧分压对ITO薄膜光电性能的影响研究

王生浩 , 张静全 , 王波 , 冯良桓 , 蔡亚平 , 雷智 , 黎兵 , 武莉莉 , 李卫 , 曾广根 , 郑家贵 , 蔡伟

功能材料

采用直流反应磁控溅射法制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,通过四探针、紫外可见分光光度计、X射线衍射(XRD)、霍尔效应仪、扫描电镜(SEM)等对薄膜样品进行了表征,研究了溅射功率和氧分压对ITO薄膜微观结构和光电性能的影响,结果表明:溅射功率对ITO的光电性能影响较小,沉积速率随着溅射功率的增大而加快;随着氧分压的升高,载流子浓度降低,霍尔迁移率先增大后减小,电阻率逐渐增大.在优化的工艺条件下,制备了在可见光区平均透过率达85%、电阻率为1×10-4Ω·cm的光电性能优良的ITO薄膜.

关键词: 氧化铟锡 , 直流磁控溅射 , 电阻率 , 透光率

碳纳米管吸波材料的研究现状与展望

王生浩 , 文峰 , 李志 , 郝万军 , 曹阳

材料导报

碳纳米管因其独特的物理和化学性能10多年来一直备受关注,已有研究将其运用于军事科技领域,如吸波材料,但目前国内关于此类研究的报道还不多.较为全面地总结了近年来国内外对碳纳米管作为吸波材料的研究成果及其目前的研究现状,即简述碳纳米管的吸波机理;详细介绍碳纳米管薄膜、活性碳纳米管、磁性金属(合金)/碳纳米管、碳纳米管/聚合物基复合吸波材料的研究现状;展望未来吸波材料的发展方向.

关键词: 碳纳米管 , 吸波材料 , 吸波性能 , 复合

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