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致密SrCe_0.95Y_0.05O_3-δ在含氢气氛下的电化学性质研究

张建敏 , 王吉德 , 王疆英 , 岳凡

无机材料学报

通过变换工作温度、施加电压、氢气分压、氢气流速等参数，对致密材料ＳｒＣｅ_０．９５Ｙ_０．０５Ｏ_３－δ的电化学特性做了研究．同时，对该材料在高温下的电导稳定性做了初步探索．发现该种材料在高温氢气氛中有较好的质子传导性，施加电压及氢分压改变对质子传导性影响显著，流速对之影响在低温区不明显，但在高温区影响较大．最佳流速可选为 ３０ｍＬ／ｍｉｎ．

关键词: SrCe_0.95Y_0.05O_3-δ , high temperature proton conductor , proton conduction

碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究

韩建强 , 卢少勇 , 李青 , 王疆英

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.024

氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥.通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖.更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应.

关键词: AFM探针 , 削角 , 硅尖 , 各向异性腐蚀 , 微电子机械系统

致密SrCe0.95Y0.05O3-δ在含氢气氛下的电化学性质研究

张建敏 , 王吉德 , 岳凡 , 王疆英

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.03.030

通过变换工作温度、施加电压、氢气分压、氢气流速等参数，对致密材料SrCe0.95Y0.05O3-δ的电化学特性做了研究。同时，对该材料在高温下的电导稳定性做了初步探索。发现该种材料在高温氢气氛中有较好的质子传导性，施加电压及氢分压改变对质子传导性影响显著，流速对之影响在低温区不明显，但在高温区影响较大。最佳流速可选为30mL/min。

关键词: SrCe0.95Y0.05O3-δ , 高温质子导体(HTPC) , 质子传导

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