材料期刊网

1. 首页
2. 检索结果页

原词结果 | 译词结果

微机械面型微加热器的热学分析

吴雷 , 李铁 , 王立春 , 王翊 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.04.015

针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析.分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好.

关键词: 微电子机械系统 , 面型微加热器 , 热分析

SiO2/Si上直流磁控反应溅射制备AIN薄膜

范克彬 , 沈伟东 , 王立春 , 熊斌

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.01.012

利用正交设计分析了直流磁控溅射中溅射气压,衬底温度和N2浓度对SiO2/Si衬底上制备的AIN薄膜的(002)择优取向的影响水平.利用X-射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的晶向和表面形貌进行了分析,得到制备高度择优取向的A1N薄膜的最佳期望条件:衬底温度为250C,溅射气压为2Pa,N2浓度为75%;并得出了氮气浓度对薄膜的(002)择优取向的影响较大.具有择优取向的AIN薄膜的折射率约为2.06.

关键词: 氮化铝薄膜 , 正交设计 , 溅射参数 , 择优取向

中高能重离子弹核碎裂反应研究

王立春 , 程锦霞 , 李彦晶 , 蒋翔 , 晏世伟

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.30.02.107

通过CR-39核径迹探测器对471 AMeV 56Fe和400 AMeV 20Ne诱发Al，C和CH2靶反应的弹核碎裂反应截面及出射角度进行了测量，并利用改进的量子分子动力学(ImQMD)模型和描述统计衰变的GEMINI模型对实验结果进行了分析和讨论。实验结果表明，总反应截面与弹核的能量无关，但随着靶核质量的增加而增加。这与其他的实验结果以及Bradt-Peters的半经验理论公式所得结果一致。理论计算和实验测量结果中，分截面出现了明显的奇偶效应。理论计算结果表明，奇偶效应主要产生于受激碎块的衰变过程，其中对效应起着重要作用，而且，主要形成于擦边碰撞的反应中且多来自于同位旋为TZ=0,±0.5的弹核碎块的贡献。产生碎块的同位素分布与弹核的种类有关，与入射能量和靶核的种类没有太大依赖性，其较小的偏转角大部分来自于擦边碰撞产生的较重的类弹碎块的贡献。

关键词: 电荷变化截面 , CR-39探测器 , ImQMD模型 , GEMINI模型 , 奇偶效应 , 同位旋效应

多孔型氧化铝薄膜在高密度封装中的应用及性能

朱大鹏 , 王立春 , 罗乐

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.020

利用铝阳极氧化方法对微晶玻璃基板上的多层铝膜进行选择性氧化,制备了4层布线的高密度MCM-D基板,对氧化得到的多孔型氧化铝介质膜的绝缘及介电性能进行了研究.实验结果表明:多层布线铝与氧化铝结合性好,层间和同层多孔氧化铝绝缘电阻分别达到109Ω和1011Ω以上;多孔型氧化铝的相对介电常数和损耗分别为5.73和0.022(1MHz);导带、互连通孔与绝缘层所形成的层间通孔互连结构共面性好,具有良好的电互连性能.多孔型氧化铝介质膜适用于制备高密度MCM-D基板.

关键词: 多孔型氧化铝膜 , 高密度封装 , 绝缘性能

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词