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钛酸铋基铁电薄膜研究进展

张端明 , 杨斌 , 魏念 , 李智华 , 郑朝丹 , 吴云翼 , 郭冬云 , 王龙海 , 杨卫明 , 王耘波 , 高俊雄 , 于军

功能材料

钛酸铋基铁电薄膜具有优良的铁电、介电性能,在非挥发性存储器件方面有很好的应用前景.本文分别从制备工艺、掺杂改性、疲劳特性的研究等方面综述了最新的研究进展,并对当前研究中存在的问题进行了讨论.

关键词: 钛酸铋 , 铁电薄膜 , 制备工艺 , 掺杂改性 , 疲劳

SrTiO₃(111)衬底上KTa_0.65Nb_0.35O₃薄膜的取向生长研究

王世敏 , 王龙海 , 张刚升 , 赵建洪 , 张端明 , 李佐宜 , 章天金

无机材料学报

以乙酸钾、乙醇钽、乙醇铌为前驱体，在SrTiO₃（111）衬底上取向生长了KTa_0.65Nb_0.35O₃薄膜.通过DTA-TG分析，确定了预烧工艺，发现钙钛矿结构KTN在高温（＞950℃）下可分解，产生缺钾中间相K₂Ta₄O₁₁．单层凝胶膜预热处理（＞450℃），多层覆盖，慢速升降温（1～2℃／min），750℃保温2h，可得到晶粒大小分布均匀，平均直径约0．2μm、致密的薄膜．升高温度、延长时间，晶粒长大，甚至团聚，产生气孔、裂纹，烧结温度应控制在950℃以下．

关键词: 钽铌酸钾薄膜 , null , null

Sol-gel生长KTa_(1-x)Nb_xO_3电光薄膜的成分和结构

卢朝靖 , 王世敏 , 邝安祥 , 黄桂玉 , 王龙海 , 王典芬

材料研究学报

采用XPS方法研究了sol-gel工艺制备的KTN(x=0.35)薄膜的成分和结构.结果表明,除了表面被碳污染外,薄膜中无残余的碳和其他杂质.其成分与原料的化学计量比相近,且沿深度均匀分布.各元素的化学状态证实薄膜系钙钛矿型KTN结构.Ar+溅射后的XPS谱反映K严重偏低,Ta和Nb的化学状态改变,是Ar+轰击引起K择优溅射及化合物分解所致.

关键词: 钽铌酸钾(KTN)薄膜 , valence state. XPS , sol-gel , KTN thin film. Ar~+ sputtering

热处理对KTN薄膜结构和形貌的影响

王龙海 , 罗英军 , 王世敏 , 黄桂玉

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.01.008

本文用XRD、SEM等分析手段,对用Sol-Gel法制备的Gel膜在不同热处理条件下处理后的KTN薄膜进行分析.发现热处理的气氛、升降温速率、烧结温度对薄膜的结构和形貌影响很大,并对其的影响进行了分析讨论.在合适的热处理条件下,在SrTiO3(100,111)衬底上制备出了高取向、晶粒大小均匀、排列紧密、纯钙钛矿结构的KTN薄膜.

关键词: KTN , Sol-Gel热处理 , 钙钛矿结构 , 表面形貌

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