石彦超
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李彬
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李佳君
,
左勇刚
,
白旸
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刘浩
,
孙占峰
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马殿理
,
陈广超
人工晶体学报
对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析.在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分.通过Raman、XRD和SEM分析了沉积样品的成分、晶体结构和形貌.通过在反应气体中加入NH3,并利用载气技术将含有Ni元素的金属有机物引入到沉积区,进行了Ni、N共掺杂沉积.利用XPS以及PL谱分析了掺杂样品的化学价键和光致发光特性,结果发现Ni-N价键的存在以及在800 nm附近的光发射峰.
关键词:
化学气相沉积
,
射频喷射等离子体
,
金刚石
,
Ni-N掺杂
李佳君
,
刘浩
,
左永刚
,
白旸
,
袁禾蔚
,
何其宇
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姜龙
,
郭辉
,
孙振路
材料研究学报
doi:10.11901/1005.3093.2015.619
根据磁控溅射金属铜膜在超声清洗中从硅基底上发生剥落的现象,分析了样品在声场中的运动和受力状态,发现样品会发生受迫振动,拉-拉周期应力引起膜基界面的失效是薄膜脱落的主要原因,而空化作用是次要原因.通过建立的力学模型,计算了膜基结合强度.与划痕法等所测得的膜基结合强度值的比较,计算值与测量值在数量级和与溅射参数变化趋势上有很好的吻合.此评价方法可以应用于溅射铜膜/多晶金刚石的膜基体系上,并研究了超声参数、基底表面形貌、基底成份等因素对膜基结合强度的影响.
关键词:
材料检测与分析技术
,
膜基结合强度
,
超声清洗
,
受迫振动
,
磁控溅射
,
铜薄膜
