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低温无压烧结氮化硅陶瓷的相变及致密化研究

白星亮 , 乔瑞庆 , 张翠敏

硅酸盐通报

采用氧化铝（Al2 O3）和氧化钇（Y2 O3）为烧结助剂，利用无压烧结工艺在低温下制备氮化硅陶瓷材料。利用XRD和SEM等着重研究了无压烧结氮化硅陶瓷低温阶段时的物相组成及其致密化。结果表明：当添加剂含量为10％，烧结温度高于1430℃时，α→β相转变较快；当烧结温度达到1510℃时，α相全部转变为β相。

关键词: 氮化硅 , 无压烧结 , 相变 , 致密化