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邱东江 , 吴惠桢 , 石成儒 , 徐晓玲 , 郝天亮
功能材料
采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响.热丝经充分碳化后能发射出更多热电子,进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3+.使金刚石晶核的孕育期大为缩短,3min内即可在未经表面预处理的Si衬底上获得1010cm-2以上的高晶核密度.
关键词: 热丝碳化 , 金刚石 , 成核
邱东江 , 郝天亮 , 石成儒
表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2000.01.001
介绍了c-BN的优异特性及应用前景.评述了c-BN膜的几种低压物理气相沉积(PVD)和低压化学气相沉积(CVD)制备方法,分析其成膜特点及对c-BN形成有显著影响的工艺参数.介绍了当前c-BN膜研究取得的成果,对如何提高成膜质量提出了自己的一些看法.
关键词: c-BN膜 , PVD , CVD
