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直流磁控溅射研究进展

石永敬 , 龙思远 , 王杰 , 潘复生

材料导报

直流磁控溅射是重要的物理气相沉积技术,广泛应用在工业生产和科学研究中.主要评论了近年来直流磁控溅射技术在溅射机理和非平衡闭合磁控靶等方面取得的重要进展,并评述了脉冲磁控模式和基于闭合磁场直流磁控溅射沉积涂层的结构区域模型.直流非平衡磁控溅射是直流磁控溅射技术中的重要里程碑,使磁控溅射技术直接过渡到离子镀阶段,而脉冲磁控溅射技术为稳定沉积高质量的非导电涂层作出了重要的贡献.

关键词: 磁控溅射 , 非平衡闭合磁场 , 脉冲 , 薄膜结构

反应磁控溅射沉积工艺对Cr-N涂层微观结构的影响

石永敬 , 龙思远 , 方亮 , 潘复生 , 杨世才

中国有色金属学报

研究在不同工艺条件下用直流反应磁控溅射技术在T10衬底上制备Cr-N涂层,并采用光电子能谱仪和XRD依次分析Cr-N涂层的表面结构和工艺参数对Cr-N涂层成分及相组成的影响.结果表明,Cr-N涂层在存放一段时间后表面产生复杂的Cr2O3相以及Cr(O,N)x相;常温下随着N2含量的增加,涂层相结构逐渐由Cr转变为化学比的CrN相.当N2含量为33.3%时,Cr-N涂层的相成分主要为Cr2N+CrN.并发现衬底偏压直接影响Cr-N系涂层的晶态及取向特征,当偏压增加到-130 V时,Cr-N涂层中β-Cr2N相结构逐渐转变为(110)和(300)取向结构.

关键词: 铬氮涂层 , 磁控溅射 , T10 , Cr2N , CrN

镁合金预处理对其表面有机涂层耐蚀性的影响

查吉利 , 龙思远 , 宋东福 , 林伟鸿 , 石永敬

材料保护

镁合金压铸件上涂覆有机涂层后的耐蚀性能与其涂装前的表面处理状态有着密切关系.采用中性盐雾试验和盐水浸渍法对经喷砂、打磨、无铬化学转化、微弧氧化4种不同表面预处理后的丙烯酸树脂涂层进行了耐蚀性测试.结果表明:采用合适的预处理能显著提高涂层的耐蚀性能,其中微弧氧化涂层耐蚀性最佳,在盐雾和盐水浸渍试验中失效时间分别达96 h和168 h;预处理后基材表面光滑的涂层失效形式以起泡为主,而具有微孔或粗糙表面的涂层则以点蚀为主.

关键词: 预处理 , 有机涂层 , 镁合金 , 丙烯酸树脂 , 耐蚀性 , 失效形式

超高Al2O3含量高炉渣的黏度及脱硫行为

杜长坤 , 杨静 , 赵贤哲 , 石永敬 , 尤静林 , 高绪东

钢铁研究学报

基于诚德镍业450 m3高炉冶炼的高Al2O3含量的红土烧结矿原料组成及炉渣特征,采用分析纯配置高Al2O3含量的高炉渣,并通过吊丝旋转黏度测定系统及高温拉曼光谱法研究w(MgO)及w(Al2O3)对炉渣黏度及脱硫的影响.结果表明,当炉渣二元碱度稳定在1.03时,调整w(Al2O3)或w(MgO)可以降低炉渣的黏度及改善脱硫效果.

关键词: 红土镍矿 , 炉渣 , 脱硫 , 黏度 , 拉曼光谱

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