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液相外延生长Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-PbTiO3膜及生长机理研究

曾新华 , 秦奋 , 姚忻 , 徐家跃 , 吴宪君

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.016

采用PbO作助溶剂,我们在钛酸锶(STO)衬底上用液相外延方法生长了一层具有特定取向的PZNT岛状外延膜,并通过引入c轴取向的PZT过渡层后,使原来的岛状三维生长转变为二维生长,显著改善了外延膜的质量,获得了几个微米厚、较完整的PZNT膜.实验证明:在氧化镁和铝酸镧(001)基片以及STO(110)/(111)衬底上,PZNT晶粒以自发形核为主,外延生长膜主要呈现岛状形貌;取STO(001)衬底,膜颗粒取向一致性好,并可获得完整的PZNT膜.

关键词: PZNT , 厚膜 , 液相外延 , 晶体生长

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