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Φ125 mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究

郝玉清 , 张果虎 , 常青 , 方锋 , 吴志强 , 万关良 , 秦福

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.06.017

为控制氧径向均匀性, 选择Φ350 mm热场. 增加晶转速度可以改善氧径向均匀性, 但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响.

关键词: Φ125 , mm硅单晶 , 氧径向均匀性 , 热场 , 晶转速度 , 石英坩埚转速