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章莎 , 周益春
材料导报
应用纳米压痕法测量残余应力的2种理论模型对5种电沉积镍镀层中的残余应力在不同压痕深度处进行了测量,并与X射线衍射法的测量结果进行了比较.结果表明,压深位于薄膜/基底界面处的2种压痕法测量结果与X射线衍射法的测量结果相近,且Yun-Hee模型与其符合得更好.
关键词: 纳米压痕法 , 电沉积镍镀层 , 残余应力 , X射线衍射法
