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新型溶胶-凝胶法制备纳米MgO薄膜的研究

符晓荣 , 宋志棠 , 多新中 , 林成鲁 , 武光明

无机材料学报

以硝酸镁为起始原料,胶棉液为添加剂,在Si(100)衬底上成功地制备MgO薄膜,结果表明,胶棉液是形成MgO溶胶的关键组份;薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关.同时,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了分析.

关键词: 薄膜 , thin films

用喷雾热分解法制备MgO薄膜

武光明 , 符晓荣 , 宋世庚 , 林成鲁

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.01.013

用压缩空气式喷雾热分解法在Si(100)衬底上制备了(100)取向MgO薄膜.结果表明,衬底温度和喷雾速率是制备(100)取向MgO薄膜的关键因素.在600℃得到了(100)取向的MgO薄膜,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)分析了薄膜的微观结构.

关键词: 氧化镁 , 薄膜 , 喷雾热分解

新型溶胶-凝胶法制备纳米MgO薄膜的研究

符晓荣 , 武光明 , 宋志棠 , 多新中 , 林成鲁

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.05.021

以硝酸镁为起始原料, 胶棉液为添加剂, 在Si(100)衬底上成功地制备MgO薄膜, 结果表明, 胶棉液是形成MgO溶胶的关键组份; 薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关. 同时, 用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了分析.

关键词: 薄膜 , 溶胶-凝胶法

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