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溶胶-凝胶法制备功能薄膜材料的研究及展望

杨辉 , 缪亚美 , 丁新更

稀有金属材料与工程

材料功能的多元化以及各种元器件的微型化、集成化,导致薄膜的应用领域也就越来越广泛,对薄膜的制备技术的要求就越来越高.本文综述了近来溶胶-凝胶法在光学、电学、耐磨、耐蚀等功能薄膜制备中的研究及展望.

关键词: 溶胶-凝胶法 , 功能薄膜 , 综述