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基体偏压对电弧离子镀AlCrSiON涂层结构和热稳定性的影响

耿东森 , 吴正涛 , 聂志伟 , 黎海旭 , 张小波 , 代伟 , 王启民

中国表面工程 doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2016.06.009

为研究基体偏压对AlCrSiON纳米复合涂层结构、力学性能和热稳定性的影响规律及机制,采用电弧离子镀技术在硬质合金基体上沉积AlCrSiON涂层.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、纳米压痕仪(划痕仪)研究涂层组织结构和力学性能;通过真空退火试验研究涂层的高温稳定性.结果表明:AlCrSiON涂层为致密柱状晶结构,并主要由c-(Al,Cr)N和c-(Al,Cr)(O,N)两相组成,呈现出纳米复合结构.随着偏压的升高,涂层表面的颗粒数目和尺寸减少,组织结构更加致密;硬度和弹性模量均呈现出先增加后减小的趋势,当偏压为-80 V时分别达到最大值30.1 GPa和367.9 GPa.涂层具有良好的高温稳定性,不同偏压下沉积的AlCrSiON涂层经800-950℃热处理后均能够保持良好的结构稳定性及力学性能,但经1 100℃热处理后涂层发生相分解并引发组织结构变化,导致涂层硬度减小.

关键词: 基体偏压 , AlCrSiON , 真空退火 , 组织结构 , 热稳定性

不同氧含量Cr-Al-Si-O-N涂层的结构和力学性能

梅海娟 , 聂志伟 , 冯思成 , 代伟 , 邹长伟 , 王启民

中国有色金属学报

采用电弧离子镀制备不同氧含量的Cr-Al-Si-O-N涂层,研究氧含量对纳米复合涂层的组织结构和力学性能的影响.结果表明:随着氧氮流量比从0增加到25%时,涂层中的氧含量从0增加到51.8%(摩尔分数),而氮含量从33.5%逐渐减少到9.8%;CrAlSiON涂层主要以面心立方结构的(Cr,Al)N固溶体形式存在,其择优取向为(111)和(200).随着氧含量的增加,涂层的硬度呈先增加后减小的趋势;当氧氮流量比为10%时,硬度达到最大值3349HK.由于氧化物的存在,含氧涂层在高温高速的摩擦中表现出优异的性能,具有较低的摩擦因数.

关键词: Cr-Al-Si-O-N , 电弧离子镀 , 氧含量 , 组织结构 , 力学性能 , 高温摩擦

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