聂磊
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阮传值
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廖广兰
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史铁林
功能材料
利用正交实验,对单晶硅表面活化工艺中重要参数对活化效果的影响进行了研究,并优化了工艺.实验针对RCA活化溶液处理工艺的特点,选择溶液配比、处理时间和温度3个重要因素为研究对象,以30%盐水为测试液,以接触角为指标,评估了这3个因素对活化效果的影响规律.对实验结果的分析表明,在此三因素中,活化温度与活化效果的关系最密切,活化液配比和活化时间的影响依次减弱.根据实验分析的结果,得到优化的工艺.利用此优化工艺进行了硅圆片键合实验,其结果表明此工艺能够实现无明显界面缺陷的直接健合.
关键词:
单晶硅
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表面活化
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直接键合
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参数优化
刘捷
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聂磊
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汤克勇
复合材料学报
以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,采用溶胶-凝胶法原位制备了SiO2/胶原水解物-聚乙烯醇杂化复合膜(SiO2/CH-PVA杂化膜).通过溶胀、热重(TG)、红外光谱(FTIR)、扫描电镜(SEM)和拉伸实验,考察了SiO2对杂化膜性能的影响.结果表明,SiO2的引入减小了膜的平衡溶胀度,减缓了膜的溶胀速率,有效地抑制了胶原水解物的溶解.红外光谱中Si-O-Si、Si-C键的吸收峰表明形成了交联的有机聚合物/无机杂化体系,SiO2的引入显著地提高了杂化膜的热稳定性和力学性能,当SiO2,质量分数由0%增加到20%,杂化膜的抗张强度由18 MPa.提高到25 MPa,断裂伸长率由510%提高到780%.
关键词:
杂化复合膜
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聚乙烯醇
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SiO2
,
胶原水解物
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溶胀速率
