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Ta中氢化物沉淀过程的内耗研究

李广义 , 潘正良 , 王晓伟 , 肖金泉

金属学报

测量了冷加工的高纯Ta丝在电解加氢前后的低频内耗。发现在加氢后除出现氢化物沉淀峰外,氢一位错交互作用的内耗峰也降低,附加范性扭形变对沉淀峰有明显的增强作用;在氧原子可动的温度范围内时效,可以完全消除形变对沉淀峰的增强作用。结果表明,氢化物可能择优在位错上沉淀。沉淀峰的本质可能与位错-氢化物交互作用有关。

关键词:

等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展

赵彦辉 , 董利民 , 杜昊 , 于传跃 , 肖金泉 , 于宝海

机械工程材料

简要综述了等离子体氮化及物理气相沉积复合处理的新进展,主要介绍了复合处理的工艺进展、复合处理镀层的组织结构、膜/基结合力、耐磨性和耐腐蚀性,并对复合处理的应用前景进行了展望。

关键词: 等离子体氮化 , 物理气相沉积 , 复合处理 , 组织 , 性能

硅薄膜中的结构缺陷研究进展

赵彦辉 , 肖金泉 , 黄荣芳 , 闻火 , 闻立时

功能材料

硅薄膜作为制备硅薄膜太阳电池的重要材料,得到了广泛研究和应用,而硅薄膜中的各种缺陷及缺陷密度则对薄膜电池的转换效率和稳定性有着至关重要的影响.对硅薄膜中的缺陷种类、缺陷研究方法以及缺陷对薄膜性能的影响进行总结,期望对提高和改善硅薄膜质量乃至硅薄膜太阳电池转换效率和稳定性提供一定的指导.

关键词: 硅薄膜 , 缺陷 , 缺陷研究方法 , 转换效率

超硬纳米多层膜的材料选择与结构设计

赵彦辉 , 肖金泉 , 林国强 , 郎文昌 , 于宝海

机械工程材料

综述了近年来超硬纳米多层膜材料选择与结构设计的研究进展,主要介绍了多层膜的选材,从构成多层膜的材料种类、膜与基体的选择、多层膜材料的选择以及从超硬效应理论得到的启示等几个方面总结了多层膜实现超硬特性时要考虑的因素,并指出了目前存在的问题及今后的发展方向.

关键词: 超硬纳米多层膜 , 材料选择 , 结构设计

管状构件内表面真空镀膜方法研究进展

赵彦辉 , 贾莹 , 于宝海 , 肖金泉

表面技术

综述了国内外真空镀膜方法,包括化学气相沉积与物理气相沉积方法对管状构件内表面镀膜的研究进展,介绍了热化学气相沉积及各种等离子体(包括直流、射频及电子自旋共振等离子体)增强化学气相沉积方法在管状构件内表面镀膜方面的应用,分析了这种方法的优缺点;重点阐述了溅射镀膜方法(包括直流二极(或三极)溅射、磁控溅射及离子束(或激光束)溅射)及电弧离子镀技术在管状构件内表面镀膜时对薄膜种类、沉积速率、薄膜厚度轴向均匀性、膜/基结合力等方面的特点.最后对管状构件内表面各种真空镀膜方法进行了分析对比,指出了存在的问题及今后的发展方向.

关键词: 管状构件 , 内表面 , 物理气相沉积 , 化学气相沉积

利用有效媒质理论对纳米金属薄膜介电函数的初步分析

杜昊 , 肖金泉

金属学报

利用有效媒质理论描述了纳米金属薄膜形成过程中介电函数的变化规律. 与实验获得的纳米Al和Ti薄膜形成过程中的介电函数变化结果相接近.

关键词: 纳米金属薄膜 , null

电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究

常正凯 , 肖金泉 , 陈育秋 , 刘山川 , 宫骏 , 孙超

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2012.00056

研究了电弧离子镀磁性靶材使用过程中发生“跑弧”并导致靶材无法稳定刻蚀的问题. 利用有限元方法(FEM)对外加磁场下非磁性靶材系统和磁性靶材系统中的磁场分布进行了模拟. 研究了外磁场对电弧斑点运动的影响机理, 并结合电弧斑点放电的物理机制, 探讨了磁性靶材与低饱和蒸气压金属靶壳、绝缘陶瓷靶壳或软磁性金属靶壳组成复合结构靶材解决磁性靶材使用问题的可行性. 结果表明, 这3种复合结构靶材设计方案均能有效解决电弧离子镀磁性靶材“跑弧”问题. 通过实验得到, 在低饱和蒸气压金属或绝缘陶瓷靶壳设计方案里, 靶材频繁引弧到弧斑能受控运动的转变温度为(136.6±23.0) ℃.

关键词: 电弧离子镀 , magnetic material , finite element method , magnetic field distribution , composited sructure target

超薄Ti膜吸收率的尺寸效应

杜昊 , 白雪东 , 肖金泉 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2001.02.011

研究了超薄Ti膜吸收率和直流电导率与薄膜厚度的关系,结果表明,超薄Ti膜的吸收率具有尺寸效应,并具有极大值,其结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因

关键词: 超薄Ti膜 , 吸收率 , 尺寸效应

轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu纳米复合膜性能的影响

宋贵宏 , 肖金泉 , 杜昊 , 陈立佳

材料研究学报

在电弧离子镀靶后端加入轴对称线圈磁场,制备了TiN-Cu纳米复合膜.观察线圈磁场强度对靶表面电弧斑点游动速率和弧柱形状的影响,及其对沉积薄膜的表面形貌、沉积速率、纳米压痕硬度和弹性模量的影响.结果表明,提高线圈磁场强度可提高电弧斑点的游动速率,进而降低靶表面金属液滴喷射几率,减小沉积薄膜中大颗粒的尺寸和数量.X射线衍射(XRD)谱显示,沉积薄膜只含有TiN相,未出现金属Cu或其化合物的衍射峰;薄膜呈现明显的(111)晶面择优取向.随着线圈磁场强度的提高薄膜沉积速率、压痕硬度和弹性模量先增加,达到最大值后又略有减少,其最大硬度和弹性模量分别达到35.46 GPa和487.61 GPa.

关键词: 复合材料 , TiN-Cu纳米复合膜 , 硬度 , 电弧离子镀 , 磁场强度 , 大颗粒 , 沉积速率

利用有效媒质理论对纳米金属薄膜介电函数的初步分析

杜昊 , 肖金泉 , 谭明晖 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2000.11.010

利用有效媒质理论描述了纳米金属薄膜形成过程中介电函数的变化规律.与实验获得的纳米Al和Ti薄膜形成过程中的介电函数变化结果相接近.

关键词: 纳米薄膜 , 介电函数 , 有效媒质理论

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