胡明庆
,
韩晓泉
,
周翊
,
冯泽斌
,
周维虎
,
白路军
连铸
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2015.04.008
设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等.系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀作为控温执行器件,并且设计了软硬件和优化的控制算法.实验结果表明:在三种不同PID控制方式下,系统控制精度皆能达到±0.2℃;在改进的智能PID控制下,系统超调变小、调节时间减少;在100 Hz和500 Hz不同重频条件下,系统采用智能PID控制时,运行稳定.因此,本系统可为激光器的运行提供良好的温度控制环境.
关键词:
激光技术
,
温度控制
,
智能PID
,
准分子激光器
,
算法
