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选择性刻蚀碳化硅制备金刚石的研究

王正鑫 , 卢文壮 , 黄群超 , 王晗 , 胥军 , 左敦稳

人工晶体学报

在高温下Cl2+ H2体系可促使SiC转化为金刚石.论文从热力学角度分析了Cl2选择性亥蚀SiC制备金刚石时,Cl2和H2对sp2、sp3杂化形式的C-C键的作用机制,从理论上推导了SiC转化为金刚石的气源中Cl2、H2比例范围.建立了SiC结构向金刚石结构转变时形成金刚石团簇的理论模型,根据该模型解释了SCDD膜的增厚机制.

关键词: 金刚石 , 碳化硅 , 氯气 , 热力学 , 选择性刻蚀

新型损伤容限型钛合金TC21稀土催化固体渗硼

朱延松 , 卢文壮 , 左敦稳 , 孙玉利 , 王晗 , 胥军

稀有金属材料与工程

采用固体粉末渗硼法对新型损伤容限型钛合金TC21表面进行稀土催化化学热处理,通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、能谱(EDS)与金相显微镜(OM)研究了渗层组织形貌和物相组成.结果表明:钛基表面渗硼层包括以整体薄壁状在基体外层分布的TiB2和以须状晶形式在次表层分布的TiB双强化渗层,渗层与基体结合紧密;渗剂中稀土含量对渗层性能的影响存在有最佳值;且发现此方法实现了钛合金TC21表面B、C共渗.

关键词: 钛合金TC21 , 须状晶 , 稀土 , 渗硼层

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