王志明
,
夏义本
,
杨莹
,
方志军
,
王林军
,
居建华
,
张伟丽
,
范轶敏
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.026
为了在氧化铝上制备(100)定向织构的金刚石薄膜，必须先提高金刚石的成核密度。在微波
等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统中，采用低压成核的方法，在氧化铝陶瓷上沉积出高成核密
度的金刚石薄膜。扫描电镜显示其成核密度可达108cm－2。在此基础上，沉积出（100）织构的金
刚石薄膜。
关键词:
MPCVD
,
金刚石膜
,
氧化铝
,
气体压力
,
成核密度
王志明
,
夏义本
,
杨莹
,
方志军
,
王林军
,
居建华
,
范轶敏
,
张伟丽
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.04.020
在微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统中,用低压成核方法,在氧化铝陶瓷基片上获得了高成核密度的金刚石薄膜.实验表明,金刚石成核密度随系统压强减小而提高.在此基础上,提出一种MPCVD系统中金刚石成核的动力学模型,并指出对应于最高成核密度有一临界压强存在.
关键词:
金刚石薄膜
,
MPCVD
,
氧化铝陶瓷
,
系统压强
,
成核
王林军
,
夏义本
,
范轶敏
,
居建华
,
方志军
,
张伟丽
,
史伟民
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.011
采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法成功地在多孔硅上沉积出均匀、致密的金刚
石膜。光致发光测量表明，金刚石膜可以有效稳定多孔硅的发光波长和发光强度，具有明显的钝
化效应。金刚石膜的这个特点再加上高硬度特性使金刚石膜成为多孔硅的一种潜在的钝化膜。
关键词:
多孔硅
,
钝化
,
光致发光
,
金刚石膜
,
MPCVD
