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溶胶-凝胶提拉法制备光导型日盲区紫外探测器

季振国 , 杜娟 , 范镓 , 王玮 , 孙兰侠 , 何作鹏

稀有金属材料与工程

利用溶胶凝胶法制备了Ga2O3和InxGa2-xO3薄膜,对其晶体结构、光探测性能等进行了研究,并制作了1个基于上述氧化镓薄膜的光导型紫外探测器.实验结果表明,Ga2O3是很好的光导型日盲紫外探测材料之一.

关键词: 溶胶凝胶 , 氧化镓:紫外探测器:日盲

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