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透明材料飞秒激光三维微制备

李焱 , 蒋红兵 , 杨宏 , 龚旗煌

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.02.009

利用飞秒激光对透明材料进行改性和加工,制备三维微结构和器件受到极大的关注.本文介绍了在透明材料内部或表面进行微制备的方法和应用,包括利用飞秒激光诱导的折射率变化来制作光波导、光栅和耦合器等;利用材料内部的微爆炸实现三维点存储和其它三维点阵结构等;通过界面的烧蚀过程进行打孔、切割和刻蚀等;利用双光子聚合制备微透镜、光子晶体和衍射光学元件等等.

关键词: 激光技术 , 飞秒激光 , 三维微制备 , 透明材料

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