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X射线衍射技术在薄膜残余应力测量中的应用

杨帆 , 蒋维栋 , 蒋建清

功能材料

残余应力测量在薄膜材料研究中具有重要的意义,综述了薄膜残余应力X射线衍射技术测量的研究现状,其中介绍了强织构薄膜残余应力X射线衍射测量技术;同时对由于G(o)bel平行光镜、毛细管元件及二维探测器等X射线功能附件的发展,以及同步辐射源X射线的应用而带来残余应力分析的新进展进行了介绍.

关键词: 残余应力 , 平行光镜 , 毛细管 , 同步辐射源X射线 , 二维探测器

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