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氟硅酸盐制取四氟化硅的研究进展

蔡苗 , 唐安江 , 王乐深 , 何元琴 , 何磊

硅酸盐通报

SiF4多被应用于电子行业和半导体行业,氟硅酸盐制备SiF4是制备方法中的一种.本文介绍了氟硅酸盐的性质,制备方法,以及氟硅酸盐制备SiF4的方法,并对部分氟硅酸盐制备SiF4的条件及产物进行了对比.

关键词: 四氟化硅 , 氟硅酸盐 , 分解 , 工艺