朱宏喜
,
顾超
,
薛永栋
,
任凤章
物理测试
利用扫描电镜观察了CVD自支撑金刚石薄膜的表面形貌组织,利用X射线衍射技术检测了薄膜织构。研究表明,不同衬底温度条件下制备的金刚石薄膜形成不同的织构和表面形貌组织,衬底温度升高使生长速率参数α减小,金刚石晶体最快生长晶向由〈100〉晶向向〈011〉和〈111〉晶向转变,使得薄膜中{011}和{111}织构随温度提高不断增强。高频率孪晶使薄膜中没有形成{100}织构,而是形成了{122}和{522}织构。
关键词:
金刚石薄膜
,
衬底温度
,
织构
,
表面组织
朱宏喜
,
顾超
,
薛永栋
,
任凤章
,
毛卫民
材料保护
为了研究化学气相沉积（CVD）金刚石薄膜生长过程中{100}织构的形成机理，采用x射线衍射、电子背散射衍射和扫描电镜研究了CVD自支撑金刚石薄膜的宏观织构、微区晶界分布和表面形貌。结果表明：金刚石薄膜以{111}面或{100}面为生长前沿面都能够形成{100}织构，但形成的表面形貌不同；通过吸附CH3-和CH3-在{111}面堆积碳原子时，通过{111}面的层层堆垛形成{100}面，且{100}面平行薄膜表面，暴露在晶粒表面的晶面只有{111}面；通过吸附CH2^2-在{100}面上堆积碳原子时，形成的{100}面平行于薄膜表面且作为晶粒大部分表面，晶粒显露的侧面为{111}面。
关键词:
金刚石薄膜
,
化学气相沉积
,
{100}织构
,
形成机理
,
形貌
,
晶体生长
,
生长过程
