李言
,
王肖烨
,
李淑娟
,
郑建明
,
袁启龙
人工晶体学报
针对单晶SiC切割过程切割效率低,加工表面粗糙度和表面不平度差以及线锯磨损和断裂严重等问题,提出采用线锯横向施加超声振动的方法切割单晶SiC.通过实验对比研究了普通切割与超声辅助切割两种切割工艺,结果表明:与普通切割相比,超声辅助切割单晶SiC,锯切力减小37％～52％,且减小趋势随工件进给速度的增大更明显；切片表面粗糙度降幅约为26％～55％,晶片表面形貌均匀,无划痕,明显优于普通切割方法所获得的表面；线锯磨损降低约近40％；切割效率提高近56％.
关键词:
SiC单晶
,
超声辅助线锯切割
,
表面粗糙度
王肖烨
,
李言
,
李淑娟
,
袁启龙
,
杨明顺
宇航材料工艺
doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2012.03.014
SiC单晶片表面质量对其后续半导体器件的制造有很大影响,但其材料的高硬度和高脆性,使切片过程变得非常困难.本文在往复式电镀金刚石线切割装置上采用单因素和正交法进行了SiC单晶切割实验,研究了工件转速、线锯速率、工件进给速率、线锯磨损对晶片表面粗糙度的影响规律以及三维形貌特点.结果表明:附加工件旋转运动,晶片表面质量提高,划痕减少、深度变浅；线速增大、工件旋转速率增大或工件进给速率减小,表面粗糙度值减小；线锯磨损晶片表面粗糙度值增大.相对线速和线锯磨损,工件转速和工件进给速率对晶片表面质量及粗糙度的影响更大.应在综合考虑效率和线锯损耗的基础上合理确定切割参数,尤其是工件进给速率.
关键词:
金刚石线锯
,
工件旋转
,
SiC单晶片
,
工艺参数
,
表面质量
肖继明
,
李言
,
白力静
,
袁启龙
,
郑建明
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2005.06.028
用磁控溅射离子镀工艺制备了CrAlTiN多元复合涂层M2高速钢麻花钻,在于式切削条件下进行切削试验,研究其切削性能和磨损特性.结果表明,CrAlTiNN涂层可显著提高高速钢刀具的切削性能,延长刀具寿命.在钻削45钢和30CrMnSiA钢时,钻头平均寿命分别比未涂层钻头提高17.2倍和11.8倍.试验发现,CrAlTiN涂层钻头后刀面磨损的图形特征更为明显,在不同加工条件下各磨损区域具有不同的磨损特性.要充分发挥涂层的作用,必须合理地选择刀具几何参数和切削用量.
关键词:
磁控溅射
,
CrAlTiN
,
高速钢刀具
,
切削性能
,
刀具磨损
张璐
,
李言
,
杨明顺
,
袁启龙
,
崔凤奎
机械工程材料
通过对高速冷滚打成形原理进行分析，利用有限元软件Abaqus对LY12铝合金高速冷滚打成形过程进行数值模拟；计算了成形过程中的变形击打力；并利用自行设计的试验装置进行了连续成形过程中变形击打力的试验验证。结果表明：高速冷打滚成形的数值模拟结果与实际试验结果基本一致，验证了数值模拟的有效性，为进一步深入研究高速冷滚打成形技术奠定了理论及应用基础。
关键词:
高速冷滚打
,
有限元数值模拟
,
变形击打力
