郭钰
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彭同华
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刘春俊
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袁文霞
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蔡振立
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张贺
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王波
人工晶体学报
选用二氧化硅抛光液抛光4H导电SiC晶片表面,探究影响SiC晶片表面质量的关键参数,获得更高的去除效率和表面质量.实验结果表明,SiC表面的氧化是氢氧根离子和双氧水共同作用的结果.保持压力不变并增加氢氧根离子或双氧水的含量,SiC表面去除速率先增加后保持不变.在更大的压力下增加氢氧根离子的含量,SiC表面的抛光去除速率进一步增加.通过优化的抛光参数,SiC表面的抛光去除速率达到142 nm/h.进一步研究结果表明,保持化学机械抛光过程中氧化作用与机械作用相匹配,是获得高抛光效率和良好的表面质量的关键.表面缺陷检测仪(Candela)和原子力显微镜(AFM)的测试结果表明,SiC抛光片表面无划痕,粗糙度达到0.06 nm.外延后总缺陷密度小于1个/cm2,粗糙度达到0.16 nm.
关键词:
碳化硅
,
化学机械抛光
,
pH值
,
压力
,
双氧水
乔芝郁
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谢允安
,
曹战民
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袁文霞
,
孙勇
,
祁更新
中国有色金属学报
阐述了无铅钎料合金设计的原则, 讨论了合金相图及其计算在无铅锡基钎料合金设计中的作用. 利用相图计算技术筛选了可能代替Pb-Sn共晶钎料合金的Sn-Zn-In三元(x(Zn)＜0.11, x(In)=0.10～0.14)和Sn-Zn-In-Ag四元(x(Sn)=0.800, x(In)=0.090, x(Zn)=0.075, x(Ag)＜0.049)无铅锡基钎料合金. 初步讨论了用相图计算技术在富Sn四元Sn-Zn-In-Ag无铅钎料合金基础上, 添加Bi, Sb等低熔点金属和微量Ce, La等稀土元素以降低贵金属In和Ag的含量, 进一步提高无铅锡基多元合金钎料的综合性能和性能价格比.
关键词:
钎料合金
,
无铅钎料
,
相图
,
相图计算
杨静静
,
何勇平
,
彭媛
,
袁文霞
合成材料老化与应用
通过光照法、水热法、乙二醇还原法制备得到了SiC/Pt复合物,其中光照法制备得到的复合物Pt-SiC-P在紫外可见光下的产氢性能最好,Pt负载量为质量分数0.2％时复合物在紫外光下的产氢能力达到75μmol·h-1·g-1,是纯SiC的15倍.Pt的负载不仅有效分离了光生电子和空穴,还减小了SiC的禁带宽度.0.2％Pt-SiC-P复合物多次循环,均保持良好的产氢活性.
关键词:
碳化硅SiC
,
氢气
,
铂
,
复合物
黄永章
,
袁文霞
,
乔芝郁
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.04.024
利用非等温等蒸气压法研究了Ni-Sb二元合金的相关系,确定了Ni5Sb2和γ-NiSb的相边界.当温度高于715℃时Ni-Sb体系中不存在Ni3Sb相,只有Ni5Sb2相存在,Ni5Sb2的相边界是(原子分数)29.42%～31.6%Sb,γ-NiSb的相边界为(原子分数)50.2%～52.58%Sb.测定了非化学计量金属间化合物Ni5Sb2和γ-NiSb非化学计量范围内Sb的活度,并计算了Sb的偏摩尔焓和偏摩尔熵等热力学性质.
关键词:
非等温等蒸气压法
,
Ni-Sb二元合金
,
活度
,
相图
