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磁控溅射氮化铬和氮化钛薄膜的性能

顾卿赟 , 姜世杭 , 褚尧

电镀与涂饰

采用磁控溅射在4Cr5MoSiV热作模具钢表面分别沉积了CrN和TiN薄膜.通过扫描电镜(SEM)和电子能谱(EDS)分析了试样的微观结构和相结构,研究了CrN和TiN薄膜的抗氧化性能,并用压痕法测定了薄膜的力学性能.结果表明,CrN薄膜的高温抗氧化性能和结合强度高于TiN薄膜,但TiN薄膜的韧性比CrN薄膜好.

关键词: 氮化铬 , 氮化钛 , 薄膜 , 磁控溅射 , 抗氧化性