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原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展

李惠琴 , 陈晓勇 , 王成 , 穆继亮 , 许卓 , 杨杰 , 丑修建 , 薛晨阳 , 刘俊

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.02.012

原子层沉积( ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术，具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点，适用于纳米多孔和高深宽比基底材料，可应用于三维微纳结构器件的功能薄膜材料制备，广受国内外学术界和工业界的关注。综述了ALD技术发展历史和技术原理，介绍了ALD技术在微纳器件中的应用进展，涉及半导体微纳集成电路、微纳光学器件、微纳米生物医药等高新技术领域，对ALD技术当前存在的问题进行了分析，并展望了未来发展方向。

关键词: 原子层沉积 , 薄膜技术 , 高深宽比结构 , 纳米多孔结构 , 微纳结构器件

正交法优化封闭溶样--石墨炉原子吸收法测定地球化学样品中的痕量金

钟涛 , 许卓 , 刘庆昌 , 马建学

黄金 doi:10.11792/hj20130920

采用正交法优化封闭溶样前处理条件，石墨炉原子吸收光谱法测定地球化学样品中的痕量金。实验结果表明，前处理最优组合为王水用量30 mL，溶解时间60 min，吸附时间40 min，解脱时间40 min。该方法的检出限为0．16 ng/g。经国家一级标准物质验证，该方法精密度、准确度均适用于地球化学样品中痕量金的测定。

关键词: 正交法 , 封闭溶样 , 石墨炉原子吸收光谱法 , 地球化学样品 , 痕量金

沉降在四氯化钛生产中的作用

李宏伟 , 孙天生 , 许卓

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2005.01.013

本实验仔细研究泥浆的物理特性,用化整为零的静态沉降方法,产生不含不溶物的优质粗四氯化钛,满足下一道工序的需要.本方法能随时将不溶物清除,防止了不溶物进入系统循环.有效地利用本方法,可以避免泥浆给生产带来的诸多不利.

关键词: 粗四氯化钛 , 泥浆 , 静置沉降 , 优质

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