于威
,
许贺菊
,
张丽
,
滕晓云
,
张锦川
,
傅广生
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.z1.007
采用螺旋波等离子体辅助射频溅射技术在Al203衬底的(0001)面上制备了ZnO薄膜.通过对其结构,光学及电学性质的分析,探讨了氧分压对薄膜生长及其特性的影响.结果表明,由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用,采用该等离子体辅助溅射技术能够在合适的氧分压下制得较高质量的ZnO薄膜.
关键词:
ZnO薄膜
,
螺旋波等离子体
,
氧分压
滕晓云
,
刘彩池
,
郝秋艳
,
许贺菊
,
于威
,
傅广生
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.z1.003
采用脉冲激光沉积法在Si(111)基片上制备了ZnO薄膜.利用X射线衍射、光致发光、扫描电子显微镜等表征技术研究工作氧压对ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响.研究结果表明,氧压的增大,有助于更多的氧原子进入晶格,有效减少薄膜中的缺陷和应力,使ZnO薄膜结构趋于完整,但是过高的氧压将严重地影响薄膜的沉积速率,加剧衬底Si的氧化,从而使薄膜的结晶质量恶化.所有的ZnO薄膜均显示出较强的紫外发光蜂,并且结晶性与发光特性有很好的一致性.
关键词:
ZnO薄膜
,
氧压
,
脉冲激光沉积
张子生
,
尹志会
,
许贺菊
,
贾亮
,
于威
,
傅广生
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.043
采用螺旋波等离子体辅助射频溅射沉积技术在Al2O3(0001)衬底上沉积ZnO外延薄膜,通过对其结构及光学性质的分析,探讨了衬底温度对薄膜生长特性的影响.实验结果表明,由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用,采用该等离子体辅助溅射技术能够在较低的衬底温度下实现较高质量的ZnO薄膜外延生长,然而,较高的衬底温度所引起的表面反应不利于薄膜中的氧空位及锌填隙等缺陷的减少,这将限制薄膜的外延质量及光学特性的进一步提高.
关键词:
ZnO薄膜
,
衬底温度
,
螺旋波等离子体
,
外延
