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高k栅介质的研究进展

卢振伟 , 吴现成 , 徐大印 , 赵丽丽 , 张道明 , 王文海 , 甄聪棉

材料导报

随着集成电路的飞速发展,半导体器件特征尺寸按摩尔定律不断缩小.SiO2栅介质将无法满足Metal-oxide-semniconductor field-effect transistor(MOSFET)器件高集成度的需求.因此,应用于新一代MOSFET的高介电常数(k)栅介质材料成为微电子材料研究热点.介绍了不断变薄的SiO2栅介质层带来的问题、对MOSFET栅介质材料的要求、制备高k薄膜的主要方法,总结了高k材料的研究现状及有待解决的问题.

关键词: 微电子材料 , 栅介质 , 等效SiO2厚度 , 薄膜

Ni-Cu/Al2O3催化剂上顺酐液相选择加氢制丁二酸酐反应性能

王达 , 张因 , 李海涛 , 赵丽丽 , 张鸿喜 , 赵永祥

催化学报 doi:10.3724/SP.J.1088.2012.20247

以Al2O3为载体,采用等体积浸渍法制备了一系列Ni-Cu/Al2O3催化剂,用于顺酐液相加氢反应,并结合低温N2物理吸-脱附、H2程序升温还原、H2程序升温脱附、X射线衍射、CO程序升温表面反应等表征结果,详细考察了催化剂中Cu含量对其催化性能的影响.结果表明,Cu的引入提高了活性组分Ni的分散度,促进了催化剂上C=C的加氢活性;同时,由于Ni-Cu双金属间的相互作用,明显抑制了催化剂表面C=O的加氢.当Cu含量为7%时,催化剂上顺酐加氢定向合成丁二酸酐的活性最高.在210℃,H2压力5.0MPa的条件下反应40min时,顺酐转化率与丁二酸酐选择性均达100%.

关键词: , 氧化铝 , , 加氢 , 顺酐 , 丁二酸酐

弛豫铁电单晶及织构陶瓷的研究进展

赵丽丽 , 唐斌 , 赵鸣 , 樊慧庆 , 田长生

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2003.07.012

综述了近年来弛豫铁电单晶和织构陶瓷的制备及其介电、压电性能的研究进展.弛豫铁电单晶的制备方法主要有高温溶液法、布里奇曼法和固态再结晶法,尺寸可达40mm以上,(001)切片压电常数d33最大可达3000pC/N, k3达到0.93, 但是成分不均匀仍是影响晶体压电性能的一个主要因素.织构陶瓷的制备方法主要为固态再结晶法(TGG法和RTGG法), 其耗时短、成本低,压电性能可达到单晶的60%~80%,介电常数甚至可以超过部分单晶,是一个新的发展方向.

关键词: PMNT , PZNT , 单晶 , 织构陶瓷 , 压电性能

多铁材料中的耦合效应和单相BiFeO3的研究状况

张道明 , 吴现成 , 徐大印 , 赵丽丽 , 王文海

材料导报

多铁材料同时自发地具有铁电性、铁磁性或铁弹性,这些性质在一定条件下相互耦合,极大地改变了多铁材料的性能.人们又发现BiFeO3的居里温度Tc=820K和奈尔温度TN=643K远在室温之上,在同一相中同时具有铁电有序和反铁磁有序,这样可以用外加电场控制反铁磁畴提高磁性或者用外加磁场控制铁电畴,提高极化强度,所以该材料已成为一个研究热点.主要介绍了单相BiFeO3薄膜的结构和物理性质,同时介绍了多种提高单相BiFeO3薄膜磁化强度、铁电性和压电性的方法.

关键词: 磁电耦合 , 铁电性 , 磁化强度 , 压电性

玻璃空间电离辐照着色损伤动力学研究

杜继实 , 张涛 , 赵丽丽 , 宋力昕 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.12063

空间电离辐照主要由能量连续变化的粒子组成, 绝大多数粒子穿透能力小, 因此, 空间电离辐照对玻璃的着色损伤必然随深度而呈现一种复杂的变化, 针对这一现象, 并且考虑到玻璃中色心的弛豫消失, 本工作建立了一种适用于玻璃空间电离辐照着色损伤动力学研究的方法. 以K9-HL玻璃为研究对象, 利用空间电离辐照作用在玻璃中随深度变化的Monte Carlo模拟结果, 研究了该玻璃在轨(近地点350 km, 远地点425 km, 轨道倾角51.6°)电离辐照着色损伤过程, 讨论了航天器用玻璃抗辐照性能考核方法, 分析了玻璃空间电离辐照着色损伤的深度分布, 提出了航天器用玻璃材料抗电离辐照损伤加固的关键点. 此外, 对不同石英玻璃防电离辐照层保护的K9-HL玻璃在轨光学性能做了研究.

关键词: 玻璃; 空间电离辐照; 色心; 动力学; 数值方法

改善YBCO高温超导银基带的织构

刘丹敏 , 李尔东 , 胡言槽 , 赵丽丽 , 肖卫强 , 周美玲

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2003.z1.027

采用部分再结晶的方法对形成{110}<110>多晶Ag织构的"领先再结晶取向"进行了研究.通过控制银的纯度及冷轧和再结晶退火过程,得到了很强{110}<110> 织构的银基带,并对织构形成过程进行了探索.

关键词:

溶胶-凝胶低温自蔓延工艺合成Co0.5Ni0.5Mn2O4纳米粉体的过程稳定性研究

王卫民 , 赵鸣 , 赵丽丽 , 高峰 , 田长生

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.020

本文研究了溶胶-凝胶低温自蔓延工艺合成Co0.5Ni0.5Mn2O4纳米粉体过程中柠檬酸-硝酸盐体系的稳定性.研究结果表明:柠檬酸盐的析出是造成溶胶-凝胶体系不稳定主要因素;加入乙二醇与柠檬酸形成网络结构、以及金属离子与柠檬酸羧基之间形成的配位键是保证溶胶-凝胶体系稳定的两个必不可少的条件.

关键词: 溶胶-凝胶 , 纳米粉体 , NTC热敏电阻 , 柠檬酸 , 乙二醇

过量PbO对TGG法定向生长PMNT多晶体动力学影响的研究

赵丽丽 , 樊慧庆 , 高峰 , 赵鸣 , 田长生

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2003.11.011

采用传统陶瓷工艺和添加过量PbO的TGG方法实现了PMNT多晶体沿<001>方向的定向生长,对多晶体定向生长的动力学进行了详细的研究.结果表明,PMNT多晶体定向生长的厚度随过量PbO的增加而线性增加,它的生长是热激活扩散与溶解-沉积过程二者综合作用的结果.只要选择适当的生长时间,在PMNT基体中添加过量的PbO,不但不会影响陶瓷的组分还可以显著提高多晶体的定向生长速度.而且,PMNT多晶体定向生长厚度与生长时间的1/3方呈线性关系,属于典型的扩散控制的生长行为.实验表明,采用添加20%过量的PbO、在1150℃生长10h是制备PMNT取向多晶体较为合适的工艺条件.

关键词: TGG法 , 动力学 , PMNT , 晶体

热处理对钛酸锶钡薄膜光学性能的影响

赵丽丽 , 翟春雪 , 朱红丹 , 廖付友 , 刘艳秋

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.18.006

采用无水溶胶-凝胶技术制备了钛酸锶钡光学薄膜,研究了预处理温度对钛酸锶钡薄膜表面形貌的影响,系统分析了退火温度对钛酸锶钡薄膜的相结构、微观形貌和光学性能的影响.结果表明,膜的物相、结构和形貌均对其光学性能起决定作用,制备致密、均匀的晶态薄膜是使钛酸锶钡薄膜具有高的光学透过率、大的折射率和小的消光系数的关键.通过150℃预处理和850℃退火获得了晶化程度良好,表面形貌平整、致密的钛酸锶钡薄膜,该膜在350~1000nm的最大光透过率为80.72%,在600~1000nm的折射率稳定在约1.93,在400~1000nm范围消光系数稳定在约4×10-5.

关键词: 钛酸锶钡 , 薄膜 , 预处理 , 退火 , 光学性能

无水溶胶-凝胶制备钛酸锶钡的热分析及膜光学性能研究

赵丽丽 , 廖付友 , 王敬远 , 高永进 , 董文娟 , 张智翔

材料导报

利用无水溶胶-凝胶技术制备了Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜,采用TG-DSC对干凝胶的热反应过程进行了详细分析,结果表明,经过350℃和450℃处理后的非晶薄膜为碳酸盐而非钛酸盐.450℃退火1h处理的非晶薄膜在350~1000nm的光学透过率大于80%,在470nm处的折射率最大(1.94),消光系数较小(0.003).800℃退火1h获得了晶态薄膜,该晶态薄膜的光学透过率也较好,在λ=670nm处的折射率最大(2.05),消光系数为0.07.

关键词: 钛酸锶钡 , 溶胶-凝胶法 , 薄膜 , 热分析 , 光学性能

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