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非线性晶体KBe2BO3F2的深紫外输出特性

宋春荣 , 赵建君 , 刘进

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2010.04.004

深紫外(DUV)相干光源对于光刻技术、激光微加工、激光光谱仪等均具有重要的意义.KBe2BO3F2(KBBF)晶体是目前唯一可直接倍频产生深紫外激光的非线性光学晶体.通过数值计算,详细分析KBBF晶体的深紫外输出特性,包括KBBF晶体的折射率、相位匹配角、有效非线性系数、光波走离角、允许参量和转换效率等.结果对于KBBF晶体用于产生深紫外全固态激光(DPL)的实验研究提供重要的理论依据.

关键词: 非线性光学晶体 , 深紫外 , KBBF , 倍频