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镍基合金辉光放电阴极溅射表面形貌

任建世 , 赵惠林 , 张功杼

金属学报

用能量色散X射线谱仪和电子探针,研究两种含有第二相沉淀和喷射弥散强化镍基合金的阴极溅射表面微观形貌,发现形成的溅射锥体是由于第二相沉淀和氧化物质点的存在,使局部溅射率改变和引起静电效应的结果。

关键词: 辉光放电 , cathodic sputtering , nickel base alloy