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多弧离子镀(Ti, Al, Zr, Cr) N多元膜的高温氧化行为

赵时璐张钧刘常升

中国腐蚀与防护学报

采用多弧离子镀技术,用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶,在 W18Cr4V高速钢基体上沉积了(Ti, Al, Zr,\linebreak Cr)N多元膜,并进行了600 ℃,700 ℃,800 ℃和900 ℃短时(4 h)高温氧化实验及 700 ℃和800 ℃长期(100 h) 高温循环氧化实验。用扫描电镜 (SEM)、能谱(EDS)和X射线衍射(XRD)观察和分析样品表面氧化膜。结果表明,这种多元膜在短时(4 h)高温氧化条件下,800 ℃时仍具有良好的抗高温氧化性,XRD显示氧化膜主要为TiO2;在长期(100 h)高温氧化条件下,该多元膜的抗高温氧化温度大约为700 ℃左右

关键词: 多弧离子镀(Ti, Al, Zr, Cr) , (Ti, Al, Zr, Cr) N film , high speed steel , high temperature oxidation resistance

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